
Les points de douleur cachés dans les outils de front-end
Les outils de fabrication de wafers tels que les systèmes de lithographie, de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur fonctionnent sous vide et dans des conditions de température extrêmes. Les éléments d'assemblage dans ces environnements doivent résister au grippage, éviter la génération de particules et maintenir des valeurs de couple précises pendant d'innombrables cycles de processus. La quincaillerie traditionnelle peut défaillir en raison de micro-vibrations, de corrosion ou d'incompatibilité des matériaux, entraînant une contamination, des temps d'arrêt coûteux et une perte de rendement.
Les ingénieurs savent que le moindre problème dans une interface sous vide ou un montage de chambre peut se propager en retards de production. Le remplacement d'éléments d'assemblage contaminés ou usés est non seulement chronophage mais aussi coûteux, nécessitant souvent un réétalonnage de l'outil et une requalification de la salle blanche. Ce sont les défis que Bossard s'est efforcé d'éliminer grâce au développement de produits spécialisés et à une collaboration étroite avec les équipementiers de semi-conducteurs.





