
Los puntos críticos ocultos en las herramientas de front end
Las herramientas de fabricación de wafers, como los sistemas de litografía, grabado y deposición química en fase vapor (CVD), operan en condiciones de vacío y temperaturas extremas. Los elementos de fijación en estos entornos deben resistir el gripado, evitar la generación de partículas y mantener valores de par precisos durante innumerables ciclos de proceso. Los elementos de fijación tradicionales pueden fallar debido a microvibraciones, corrosión o incompatibilidad de materiales, provocando contaminación, paradas costosas y pérdidas de rendimiento.
Los ingenieros saben que el más mínimo problema en una interfaz de vacío o en el anclaje de una cámara puede desencadenar retrasos en producción. Sustituir elementos de fijación contaminados o desgastados no solo requiere tiempo, sino que también supone un alto coste, ya que suele implicar la recalibración de equipos y la recertificación de salas limpias. Estos son los desafíos que Bossard ha trabajado para superarlos mediante el desarrollo de productos especializados y la estrecha colaboración con los OEM de semiconductores.





